现在高精度研磨加工技术是研磨技术中的一种，能够获得较高的零件表面质量，就能够获得极高的面部精度和无加工变质层的表面。

　　高精度研磨机采用合适的研磨加工机器和优良的研磨工艺的平面研磨，作为一种设备相对简单，有可以得到很高的形体精度和表面质量的方法，依旧是精密加工有效的方法之一。

　　抛光是利用柔光工具和磨料颗粒或其他抛光对工件表面进行的修饰加工。抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或者镜面光泽为目的的，所以通常是作为精密加工后面的一道工序。

研磨和抛光的原理基本上是一样的，因此加工设备都是可以通用的，因此经常将研磨和抛光并提，统称为研磨抛光技术。研磨抛光是可以通过单盘单面研磨抛光或者双面研磨抛光实现的。　

　　超精度抛光较大的特点是它不改变工件的面部精度，只改善了表面的粗糙度，高精度研磨机能够使工件的表面粗糙度达到纳米级甚至是次纳米级，超精度研磨机较大的特点就是获得极高的面部精度，将精度平面研磨可以使工件的平面度达到十分之一甚至百分之一微米的水平，因此为了使工件获得高的面型精度，低的表面粗糙度，我们会将精密研磨技术和超精密抛光技术并提，才能让加工出非常精密的零件。

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